Molybdän-Target
Artikel: Molybdän-Target
Schmelzpunkt: 2620 Grad
Form: Blatt, rund, Scheibe und individuell
Oberfläche:poliert
Was ist das Molybdän-Sputtertarget?
Molybdän-Target dient hauptsächlich zur Bildung eines Films auf verschiedenen Substratplatten. Die Methode wird als Magnetron-Sputtern bezeichnet. Sputtern ist eine Technologie seit vielen Jahren. Mit dieser Technologie können verschiedene Materialfilme auf verschiedenen Formen von Substratmaterial abgeschieden werden. Die Masse des einfallenden Partikels muss mit der Masse des Targets übereinstimmen.
Dieser Vorgang kann wiederholt werden, normalerweise verwenden wir ihn, um vom kleinen Projekt bis zur großen Substratplatte zu produzieren.
Um eine hohe Sputtereffizienz zu erreichen, stellen Sie sicher, dass Sie einen hervorragenden Sputterfilm erhalten. In der Regel muss das Molybdän-Target darunter abgedeckt werdenVorteile:
Molybdän- und Molybdänlegierungs-Targets werden beim Sputtern als Kathodenquelle verwendet, unabhängig von den Verunreinigungen im Feststoff oder O2 und H2O im Gas. Beide verunreinigen den Film und beeinträchtigen die Filmeigenschaften, weshalb eine hohe Reinheit erforderlich ist.
Die Dichte des Molybdän- und Molybdänlegierungs-Targets beeinflusst nicht nur die Abscheidungsrate, sondern auch die elektrischen und Lichteigenschaften. Bei einer niedrigen relativen Dichte befinden sich viele Blasen im Inneren des Molybdän-Targets. Beim Sputtern führt die plötzliche Freisetzung von Gas im Inneren zum Sputtern des Target-Granulats, wodurch die Leistung des Films beeinträchtigt wird
Bei Molybdäntargets mit feinen Körnern ist die Sputterrate höher als bei groben Körnern, außerdem wird die Dicke der Filme gleichmäßig verteilt.
4>Kristalline Orientierung.
Die Kristallstruktur des Targets beeinflusst nicht nur die Sputterrate des Targets, sondern auch die Gleichmäßigkeit der Filmdicke. Beim Magnetronzerstäuben des Targets werden Atome leicht entlang der Richtung der am dichtesten angeordneten Atome in den sechs Richtungen herausgesputtert. Um ein Molybdän-Target mit konsistenter Kristallorientierung zu erhalten, kann es durch Formungsverfahren und Wärmebehandlungsprozess gesteuert werden.
Wie stellt man ein Molybdän-Target her?
Molybdän hat einen hohen Schmelzpunkt von 2620 Grad, daher verwenden wir normalerweise Pulvermetallurgie-Technologie, um Molybdän-Targets herzustellen.
Sieben von hochreinem Pulver als Rohmaterial, Sintern im Vakuumofen nach isostatischem Pressen. Je nach Form haben sie normalerweise ein Molybdänplatten-Target und ein Molybdän-Twill-Target. Prozessfortschritt siehe unten:
Zweite Produktionsmethodeist Hochtemperaturschmelzen. Das Verfahren besteht darin, dass eine Molybdänplatte oder ein Molybdänstabrohling bei hoher Temperatur in einem Elektronenstrahl- oder Lichtbogenschmelzofen geschmolzen wird, um einen Molybdänbarren zu bilden, und dann durch Schmieden, Extrudieren oder Ziehen verarbeitet wird, um nach der Wärmebehandlung ein Molybdän-Sputtertarget zu erhalten. Das mit dieser Methode hergestellte Target weist eine hohe Reinheit und gute Kompaktheit auf. Allerdings erfordert diese Methode im Vergleich zur Pulvermetallurgie eine umfangreiche Ausrüstung, einen komplexen Prozess und relativ grobe Körner.
Über uns
Baoji Hanz Metal Material Co., Ltd ist ein Experte für die Herstellung von Molybdän-Targets, insbesondere runden Scheiben, die in verschiedenen Größen und Mengen hergestellt werden können. Wir verfügen über Präzisionsausrüstung und eine gesamte Produktionslinie, vom ausgewählten Rohmaterial bis zur Endkontrolle, jede Linie verfügt über professionelle Techniker. Außer Molybdän-Targets produzieren wir auch Molybdän-Rohre, Moly-Stäbe, Moly-Drähte, Moly-Platten und kundenspezifische Produkte. Wir haben Kunden in Nordamerika, Europa, Asien usw. Wenn Sie Anfragen haben, können Sie uns gerne fragen!
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